談?wù)劶す夂诵墓鈱W(xué)元件的抗損傷閾值測試

　　光學(xué)薄膜激光損傷閾值測試依據標準ISO建立，主要用于薄膜或光學(xué)元件表面強激光承受能力的測試?？蛇M(jìn)行光學(xué)元件或薄膜激光損傷閾值及損傷斑的測試；激光預處理，提高薄膜的激光損傷閾值。儀器使用簡(jiǎn)單，測試方便，實(shí)現了數字化、集成化、智能化?；竟δ苣K包含散射判別模塊與圖像判別模塊；擴展功能模塊包括復核校驗模塊、光譜分析與判別模塊、聲譜分析與判別模塊、質(zhì)譜分析及判別模塊。

　　該測試系統主要有以下優(yōu)勢：

　　首先，相互補充、互為校對的多種損傷判別方法。每種損傷判別方法都有一定的局限性和應用范圍，單一的損傷判別方法難以對不同厚度、不同膜系的薄膜均做出準確的判別。本套系統集成了多種檢測方法：圖像檢測、散射檢測、光譜檢測、聲譜檢測等，這些方法相互補充、互為校對，拓展了測試對象的應用范圍，為整體系統的測試穩定提供了有力保障。

　　其次，高倍率的樣品在線(xiàn)檢測復核系統。由于工作距的限制，目前測試系統中圖像判別法采用的CCD放大倍率只能達到50倍以下，不滿(mǎn)足標準規定的100倍的要求。對此，系統配備了高倍變焦顯微鏡校驗系統，方便用戶(hù)在不影響測試過(guò)程，不拆卸樣品的情況下，對損傷點(diǎn)的實(shí)際情況進(jìn)行在線(xiàn)復查，保證了對準精度。另外，雙波長(cháng)共光路的系統設計。儀器具有單波長(cháng)和雙波長(cháng)兩種類(lèi)型。針對雙波長(cháng)測試儀，采用兩臺激光器，經(jīng)過(guò)合色棱鏡，合并在一束光路上，簡(jiǎn)化了光學(xué)系統結構，可對同一點(diǎn)，實(shí)現雙波長(cháng)激光的同時(shí)預處理。