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關(guān)于濾光片的硬膜和軟膜
點(diǎn)擊次數:3758 更新時(shí)間:2019-07-07
軟鍍膜
軟鍍膜是多層薄膜,由硫化鋅、冷凍劑、有時(shí)甚至是銀組成。對于傳統的干涉濾光片,鍍膜組件被層壓在一個(gè)垂直的堆棧中,以提供抵御周?chē)h(huán)境的保護,通常是從較大的晶圓上取下??紤]到所使用的材料和制造工藝,軟鍍膜易碎。鍍膜材料經(jīng)常被從濾光片的邊緣移除,以避免鍍膜因潮濕而退化,并增加鍍膜的使用期限。
軟鍍膜的成本是由低成本的沉積設備、快速循環(huán)時(shí)間和廉價(jià)的基片來(lái)保持,但是由于密封和環(huán)形組件,操作成本很高。
軟鍍膜如果小批量生產(chǎn),成本較高,如果產(chǎn)生一定批量的生產(chǎn),會(huì )大大降低成本。
硬鍍膜
硬鍍膜薄膜是利用等離子沉積過(guò)程制作而成的,與軟鍍膜相比,它具有多個(gè)優(yōu)勢。等離子沉積過(guò)程是用計算機嚴格控制的,它甚至可以實(shí)現分層,擁有良好的環(huán)境適應性和更好的性能。例如,作為波長(cháng)的一個(gè)函數,硬鍍膜的透光率不僅更加一致,而且通常高于軟鍍膜的透光率
硬鍍膜在可見(jiàn)光譜和紫外線(xiàn)中具有超過(guò) 90% 的透射率。另一方面,軟鍍膜無(wú)法達到 90% 的透射率,并且性能在紫外線(xiàn)附近顯著(zhù)下降。此外,起始和截止轉換還有一些改進(jìn)。軟鍍膜有個(gè)漸進(jìn)的過(guò)渡,從沒(méi)有透射率過(guò)渡到*透射率,而硬鍍膜的過(guò)渡更陡.